超高分辨场发射扫描电子显微镜
(UHR FE-SEM)
附件:
1. 电制冷能谱仪(美国EDAX公司 TEAM EDS)
2. 离子溅射镀膜仪(英国QUORUM公司Q150R S)
型 号：NOVA NanoSEM 450(SEM)
国 别：美国
生产厂家：FEI
购置时间：2011年
性能指标：
电镜分辨率：高真空: 1.0nm @ 15kV；1.4nm @ 1kV
低真空: 1.5nm @ 10kV；1.8nm @ 3kV
电镜加速电压：200V～30kV
电镜着陆电压：50V～30kV(电子减速模式)
束流大小：0.6pA ～200nA
电镜检测器：高真空二次电子检测器(ETD)、极靴内二次电子检测器(TLD-SE)、极靴内背散射电子检测器(TLD-BSD)、
真空二次电子检测器(LVD)、低真空超高分辨二次电子探测器(Helix)、样品室红外CCD探测器
能谱仪能量分辨率：129eV(Mn Kα)
能谱仪元素检测范围：Be4-Pu94
主要附件配置：
1. 能谱仪：Apollo X 硅漂移探测器SDD；
能量分辨率：129eV(Mn Kα)；
元素检测范围：Be4-Pu94；
可进行点、线、面的元素成份及分布分析；
具有相图模块(分析不同的相的分布)
2. 自动离子溅射镀膜仪：用于样品喷金
主要应用：
1. 适用于观察各类材料的精细形貌，可获得高质量的高分辨二次电子图像。电子束减速模式能提供超凡的对比度和样品最 表面的信息。采用低或超低着陆电压，能得到灵敏度和衬度更好的样品表面信息。采用低压背散射电子探测器能得到超 高 对比度和全面的成分信息。低真空成像能为不导电样品（如聚合物材料）提供高分辨率表征。
2. 能谱仪可对样品做元素组成和分布分析，包括点扫描、线扫描、面扫描以及相分析。
送样须知：
1. FESEM测试样品要求干燥无可挥发成分、无磁性，含溶剂的样品请提前真空干燥处理。样品必须牢固粘贴于样品台上，并吹扫去除未粘贴和不牢固样品； 对不导电样品可在测试前进行喷金处理，如放大倍数高于10万倍则建议直接上镜观察（避免金颗粒影响）。
2. 原则上禁止做在强电子束流下易分解的样品。
3. 建议测试时送样人现场观察，对测试过程中的任何疑问或对测试结果有特别要求请当时向管理人员或操作人员说明。
4. 本电镜常规使用高真空二次电子模式，如需做背散射测试或低真空模式要试样品量而定。
收费标准：
180元/样 (电镜)
120元/样 (喷金)
240元/样（电镜+能谱）
